半導体製造装置

半導体部品加工の基礎知識と発注時の品質管理ポイントを解説。寸法精度・表面品質・清浄度管理の三位一体で求められる品質基準、使用素材、加工業者の選定基準まで設計者・購買担当者向けに網羅。